高速掃描電子顯微鏡 

HEM6000

HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

?

產(chǎn)品優(yōu)勢

高速自動化 

全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍

大場低畸變

跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

低壓高分辨 

樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用案例

大規(guī)模成像

規(guī)格書 

關(guān)鍵參數(shù) 

分辨率        1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 

                  1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；

加速電壓    100 V~6 kV(減速模式) 6 kV~30 kV(非減速模式) 

放大倍率     66~1,000,000x 

電子槍類型  高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 

物鏡類型     浸沒式電磁復(fù)合物鏡 

樣品裝載系統(tǒng) 

真空系統(tǒng)    全自動控制，無油真空系統(tǒng) 

樣品監(jiān)控    樣品倉監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭

樣品最大尺寸     直徑4英寸 

樣品臺 

類型          電機(jī)驅(qū)動3軸樣品臺（*可選配壓電驅(qū)動樣品臺） 

行程          X、Y軸：110mm；Z軸：28mm；

重復(fù)定位精度     X軸：±0.6 um；Y軸：±0.3 um 

換樣方式   全自動控制 

換樣時間   ＜15 min 

換樣倉清洗        全自動控制等離子清洗系統(tǒng) 

圖像采集與處理 

駐點時間    10 ns/pixel 

圖像采集速度     2*100 M pixel/s 

圖像大小    8K*8K 

探測器和擴(kuò)展 

標(biāo)配 

鏡筒內(nèi)混合電子探測器 

選配

低角度背散射電子探測器 

鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器 

壓電驅(qū)動樣品臺 

高分辨大場模式

樣品倉等離子清洗系統(tǒng) 

6英寸樣品裝載系統(tǒng)

主動減震臺 

AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu) 

軟件 

語言  中文 

操作系統(tǒng) Windows 

導(dǎo)航 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 

自動功能 自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

服務(wù)

掃描電子顯微鏡實驗室 

我們在合肥、無錫、廣州和上海設(shè)有掃描電子顯微鏡實驗室，實驗室配備多名電鏡技術(shù)專家和高級電鏡應(yīng)用工程師，提供包含電 鏡應(yīng)用技術(shù)開發(fā)、樣品拍攝在內(nèi)的多種服務(wù)。主要應(yīng)用領(lǐng)域有鋰電池、新型納米材料、半導(dǎo)體材料、礦物冶金、地質(zhì)勘探、生物醫(yī)藥等。 實驗室依托國儀量子電鏡產(chǎn)品，在電鏡應(yīng)用領(lǐng)域開展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的科研項目，致力于實現(xiàn)科學(xué)研究和人才培養(yǎng)的目標(biāo)。與此同時，實驗室也為有電鏡應(yīng)用需求的科研院所、大專院校、企事業(yè)單位提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。